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凈化知識

半導體制造企業凈化廠房清潔度、純凈度的調查報告

作者: 深圳市中建南方環境股份有限公司發表時間:2019-12-19 10:49:59瀏覽量:6160

一般來說,污物的量包括種類、形狀、尺寸、數量、重量等衡量指標;具體用何種指標取決于不同污物對產品質量的影響程度和清潔度控制精度的要求。產品是由零件經過設備加工裝配而成,所以清潔度分為零件清潔度和產品清潔度。產品的清潔度與零件的清潔度有直接的關系,同時還與生產工藝過程、潔凈車間環境、生產設備及人員有密切關系。
文本標簽:中建南方|半導體企業|無塵車間|凈化廠房|潔凈度|凈化工程公司

半導體制造企業凈化廠房清潔度、純凈度的調查報告

   清潔度:清潔度表示零件或產品在清洗后在其表面上殘留的污物的量。一般來說,污物的量包括種類、形狀、尺寸、數量、重量等衡量指標;具體用何種指標取決于不同污物對產品質量的影響程度和清潔度控制精度的要求。產品是由零件經過設備加工裝配而成,所以清潔度分為零件清潔度和產品清潔度。產品的清潔度與零件的清潔度有直接的關系,同時還與生產工藝過程、潔凈車間環境、生產設備及人員有密切關系。

   純凈度(潔凈度)潔凈度的理解:潔凈度指潔凈空氣中空氣含塵(包括微生物)量多少的程度。

   生產環境潔凈:半導體器件生產環境要求很嚴,要求恒溫、恒濕,按單位體積中規定的尺寸灰塵粒子為標準分成潔凈度的等級。一般分為10級、100級、1000級、10000級、100000級。

   檢測(顆粒測試儀)

   1)浮游粒子潔凈度的檢測(顆粒測試儀)

   采樣:任何潔凈區的取樣點不少于2個,除受潔凈區劃內的設備限制外,取樣點應在整個潔凈區均勻分布,每個選定的取樣點應至少取樣一次。在一個區內總共應最少取樣5次,每個取樣點取樣應多于一次,而不同的取樣點取樣次可以不同。

   2)取樣量度和取樣時間:取樣量不少于0.00283立方米(合0.1立方英尺),并且計算所得取樣量結果不得四舍五入。取樣時間可以用取樣量除以取樣速率來計算。

   潔凈度潔凈室達到潔凈度要求的必要條件:

   一、送風潔凈度:要保證送風潔凈度符合要求,關鍵是凈化系統末級過濾器的性能和安裝。凈化系統末級過濾器一般采用高效過濾器或亞高效過濾器。按我國標準規定,高效過濾器效率分四檔:A類為≥99。9%,B類為≥99。9%,C類為≥99。999%,D類為(對≥0。1μ m粒子)≥99。999%(亦稱超高效過濾器);亞高效過濾器為(對≥0。5μm粒子)95~99。9%。效率越高,過濾器的價格也越貴。100萬級可選用高中效過濾器;低于1萬級可選用亞高效或A類高效過濾器;1萬~100級選用B類過濾器;100~1級選用C類過濾器。

   二、氣流組織

   1) 垂直單向流:只適用于4m以上高大潔凈室,對于相對兩側格柵的板和相對兩側墻下部均勻布置回風口的回風方式僅適用兩側凈間距小于6m的潔凈室;單側墻下部布回風口僅適用對墻間距較小(如≤<2~3m)的潔凈室。

   2) 水平單向流:僅適用于同一房間工藝過程有不同潔凈度要求的潔凈室;送風墻局部布高效過濾器較滿布水平送可減少高效過濾器用量,節約初投資,但局部區域有渦流。

   3) 亂流型氣流:高效過濾器風口頂送具有系統簡單、高效過濾器后無管道、潔凈氣流直接送達工作區等優點,但潔凈氣流擴散緩慢,工作區氣流較均勻;不過當均勻地布置多個風口或采用帶擴散板地高效過濾器風口時,也可使得工作區氣流較均勻;但在系統非連續運行地情況下,擴散板易積塵。

   三、送風量或風速

   100萬級潔凈室的通風量是按高中效凈化系統考慮,其余均按高效凈化系統考慮;當10萬級潔凈室高效過濾器集中布置在機房或系統末端采用亞高效過濾器時,可適當提高換氣次數10-20%。

   四、靜壓差

   我國潔凈室建設初期由于圍護結構密閉性較差,要維持≥5Pa的正壓就要2~6次/h送風量;目前維護結構密閉性已大為提高,維持同樣的正壓只要1~2次/h送風量;維持≥10Pa也只要2~3次/h送風量。我國設計規范規定:不同等級的潔凈室以及潔凈區和非潔凈區之間的靜壓差應不小于0。5mmH20(~5Pa),潔凈區與室外的靜壓差應不小于1。0mmH20(~l0Pa)。

   例如某公司車間擴散間是1萬級,其它區域是潔凈度以每立方米(或叫每立方英尺)空氣中的最大允許粒子來確定。等級名稱為每立方米空氣中大于等于0.5微米的最大允許粒子數的常用對數值(以10為底),(英制單位是等級名稱為每立方英尺空氣中大于等于0.5微米的最大允許粒子數)。潔凈技術是關鍵子系統(包括半導體和平面顯示器工業中的流體和氣體配給系統)的最大供應商之一。該公司的技術副總裁兼技術總監Sowmya Krishnan博士說,該公司在全球四分之一的工廠都建了這些系統,每個系統都擁有幾千平方英尺的潔凈室。潔凈等級在1級(ISO 3級)到1000級(ISO 6級)之間,真正地實現無污染、無粉塵的系統生產。

2019-12-19 6160人瀏覽 返回列表
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